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氣冷羅茨真空泵的應用領域
更新時間:2024-05-14  |  點擊率:2180
  氣冷羅茨真空泵意味著該泵可以在大氣壓下開頭泵送,并且可以將泵送的氣體直接排放到大氣中。泵腔內沒有油或其他介質,并且泵的極限壓力與油密封的真空泵處于同一水平。或靠近機械真空泵。
 
  在氣冷羅茨真空泵行業中,當前大多數真空泵都使用油,水和其他聚合物作為泵介質。它們的主要功能是潤滑,冷卻和密封。但是,真空泵和抽運系統有以下問題要解決:1、泵的工作介質污染了抽運的容奣。最直接的后果是它將影響產品質量并增加泵的維護成本;2、在此過程中,反應材料會使泵中的介質變質,從而導致泵體無法正常工作。 這是當前面臨的兩個主要問題。
 
  氣冷羅茨真空泵的使用可以取得很好的效果,那么氣冷羅茨真空泵的應用領域有哪些?以下將重點介紹其應用范圍:
 
  1、氣冶羅茨泵適用于化學,制藥和食品德業的蒸餾,干燥,脫氣,包裝等,以防止有機溶劑污染;
 
  2、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝;
 
  3、半導體刻蝕工藝,這些生產工藝常常使用腐蝕性氣體和磨料顆粒;
 
  4、除半導體工藝外,某些還會產生顆粒的工藝。在這些過程中,顆粒不會混入油泵中,而是從油泵中排出,這可以通過干式真空泵解決;
 
  5、用作常規無油清潔真空系統的前泵,以防止油污染。

 

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