滑閥真空泵在工作時，在一定溫度下，當低壓處的液體壓力低于在該溫度下的汽化壓力(即飽和蒸汽壓)，液體開始汽化而產生氣泡，并隨液體進入高壓區時，氣泡破裂，周圍液體迅速填充原氣泡空穴，產生水力沖擊。這種氣泡的產生、發展和破裂現象就稱為汽蝕。
在滑閥真空泵的工作過程中，吸入區域的絕對壓力與被抽系統的絕對壓力是一致的。也就是說，被抽系統的真空度越高，吸入區域的真空度也越高。
滑閥真空泵需要用液體作為工作介質。每種液體在某一溫度下都有對應的飽和蒸汽壓。當吸入區域的絕對壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時，液體越接近沸騰狀態。這時，在吸入區域的工作液表面會產生大量的汽泡，由于液體在工作腔內產生的工作液蒸汽會占據部分工作腔的空間，泵對外的吸氣能力會有所下降。當吸入區域的壓力達到工作液的飽和蒸汽壓時，可以認為工作腔內全部充滿了工作液蒸汽，此時泵對外的吸氣能力接近于0，而此時泵的汽蝕現象也為嚴重。
滑閥真空泵降溫方法：
馬達的功率、轉速與真空泵一致，不能變更。風扇安裝在電動機主軸上，根據電動機的轉速決定風扇的轉速，所以不能變更。增加風扇葉片的數量可以起到一定的作用，但是葉片增加的話，原來的動平衡就會崩潰，需要尋找新的動平衡。找到新的動平衡并不容易。動平衡不同，會引起電動機的劇烈振動。因此，一般采取了以下方法：
1.將原來的風扇蓋加長40cm，設置了與風扇通徑的軸流風扇，軸流風扇的電動機功率要求為850w、轉速14889r/min、電壓380v。原來的粉絲還在。軸流風扇設在別的電源控制中，真空泵啟動后，軸流風扇運轉，真空泵停止后，在30min停止軸流風扇，充分冷卻主馬達。
2.保持馬達的清潔和清潔，定期清除馬達上的污垢，提高散熱能力。
3.把滑閥真空泵的母線電壓提高到400v。
